X衍射儀，即X射線衍射儀（XRD），是一種利用X射線衍射原理測定物質(zhì)結(jié)構(gòu)的精密分析儀器，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域。其通過將X射線束照射到樣品上，X射線與樣品中的原子相互作用，產(chǎn)生衍射現(xiàn)象。由于晶體中原子規(guī)則排列，原子間距與X射線波長相當(dāng)，不同原子散射的X射線相互干涉，在特定方向上產(chǎn)生強(qiáng)衍射。衍射波疊加使射線強(qiáng)度在某些方向加強(qiáng)，其他方向減弱，形成衍射圖譜。通過分析衍射峰的位置、強(qiáng)度和形狀，可推斷樣品的晶體結(jié)構(gòu)、相組成、晶體取向等信息。

　　X衍射儀的主要結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

　　1、X射線發(fā)生系統(tǒng)

　　X射線管

　　結(jié)構(gòu)：真空二極管結(jié)構(gòu)，陰極（鎢絲）發(fā)射電子，陽極（靶材）受電子轟擊產(chǎn)生X射線。

　　靶材選擇：常見靶材包括Cu、Mo、Co等，不同靶材對應(yīng)不同特征波長（如Cu靶的Kα波長為1.54184Å）。

　　冷卻系統(tǒng)：陽極靶需循環(huán)水冷卻，防止高溫?fù)p壞。

　　高壓電源

　　功能：提供高電壓（通常20~60kV）加速電子，并穩(wěn)定管電流（10~100mA）。

　　穩(wěn)定性要求：電源波動(dòng)需小于0.01%，以確保X射線強(qiáng)度和波長的穩(wěn)定性。

　　2、測角儀系統(tǒng)

　　測角儀是XRD的核心部件，負(fù)責(zé)精確測量衍射角（2θ）：

　　結(jié)構(gòu)組成

　　樣品臺：可旋轉(zhuǎn)或固定，支持粉末、塊狀或薄膜樣品的精準(zhǔn)定位。

　　狹縫系統(tǒng)：包括發(fā)散狹縫、防散射狹縫和接收狹縫，控制X射線束的寬度和平行性，減少雜散光干擾。

　　角度驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)：步進(jìn)電機(jī)或精密機(jī)械結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)2θ角的高精度掃描（精度達(dá)0.001°~0.01°）。

　　光學(xué)對中技術(shù)：采用激光或熒光屏校準(zhǔn)，確保X射線源、樣品臺和探測器處于同一衍射平面，避免角度誤差。

　　3、探測與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)

　　探測器

　　類型：

　　氣體計(jì)數(shù)器：通過X射線電離氣體產(chǎn)生電信號，適用于低強(qiáng)度輻射。

　　閃爍計(jì)數(shù)器：利用閃爍晶體（如NaI）將X射線轉(zhuǎn)化為光信號，再由光電倍增管放大，響應(yīng)速度快。

　　半導(dǎo)體探測器（如硅PIN二極管）：高靈敏度、高分辨率，適合弱信號檢測。

　　功能：將衍射X射線轉(zhuǎn)換為電信號，并傳輸至數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。

　　單色器

　　作用：濾除Kβ等雜波，提高衍射峰的信噪比。常用石墨晶體單色器，可安裝在入射光路或衍射光路中。

　　4、數(shù)據(jù)處理與控制系統(tǒng)

　　計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)

　　功能：設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù)（如掃描范圍、步長、時(shí)間），自動(dòng)采集衍射數(shù)據(jù)，并實(shí)時(shí)顯示衍射圖譜。

　　軟件分析：通過專用軟件（如Jade、MDI）進(jìn)行尋峰、擬合、物相鑒定（PDF卡片庫對比）及晶粒尺寸計(jì)算（謝樂公式）。

　　自動(dòng)化與智能化

　　自動(dòng)校準(zhǔn)：部分機(jī)型配備自動(dòng)對中和波長校準(zhǔn)功能，減少人為誤差。

　　多模式檢測：支持連續(xù)掃描、步進(jìn)掃描、定點(diǎn)測量等模式，適應(yīng)不同樣品需求。

　　5、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特點(diǎn)

　　高穩(wěn)定性

　　機(jī)械結(jié)構(gòu)：采用一體化鑄造框架或抗震設(shè)計(jì)，減少環(huán)境振動(dòng)對角度測量的影響。

　　溫度控制：部分高機(jī)型配備恒溫系統(tǒng)，防止溫度波動(dòng)導(dǎo)致樣品或光路變形。

　　模塊化與擴(kuò)展性

　　樣品腔：可更換式設(shè)計(jì)，支持高溫、低溫、原位反應(yīng)等特殊測試需求。

　　多靶材兼容：通過更換X射線管靶材，適應(yīng)不同波長需求（如Cu靶測有機(jī)物，Mo靶測金屬）。

　　安全防護(hù)

　　輻射屏蔽：鉛罩或防護(hù)門防止X射線泄漏，保障操作安全。

　　緊急停止按鈕：快速切斷X射線源，避免意外暴露。

　　6、應(yīng)用場景與結(jié)構(gòu)適配

　　物相分析：通過衍射峰位置（2θ）和強(qiáng)度鑒定晶體種類，依賴高分辨率探測器和窄縫設(shè)計(jì)。

　　晶粒尺寸測定：利用衍射峰寬化效應(yīng)（謝樂公式），要求探測器高靈敏度和小角度穩(wěn)定性。

　　殘余應(yīng)力分析：基于晶面間距變化（d值），需搭配高精度測角儀和原位加載裝置。